被拆的这台机器，是ASML早期的DUV型号。这类设备虽不及EUV，但仍能支持14纳米甚至部分更先进制程，是中国厂商的重要依赖。
但问题是：ASML的机器结构极其复杂，内部包含上千个高精度光学、流体与控制模块，很多零件甚至由多国联合制造，设计严密、不可逆。这就像试图拆解一只瑞士表——拆得容易，装回去基本不可能。
ASML机器内部很多关键部件都被封装成黑盒。而且有加密芯片，一旦强行拆解，就自动锁死。所以当荷兰工程师到了现场，发现被拆的机器无法修复时，他们猜测这可能不是普通的故障。
根据国际惯例，如果确认客户擅自拆解核心部件，ASML有权拒绝提供后续服务。这意味着，这台机器可能彻底报废。对一家晶圆厂来说，这种损失是致命的。产线要停工，订单要延期，损失可能上亿元。
一台ASML DUV设备内部包含超过10万个精密零件，涉及光学、材料、流体力学、软件控制等数十个尖端学科，其复杂程度远超普通工业设备。即便是经验丰富的工程师，在没有原厂图纸、固件和校准数据的情况下贸然拆解，极大概率会破坏设备的精密对准系统——而这正是光刻机能否正常工作的命脉。
ASML的技术人员在现场发现，机器内部多个关键模块错位、镜片划伤、真空腔体密封失效，甚至部分传感器被错误接线烧毁。
问题来了：ASML还会修吗？按理说，中国客户与ASML签有长期维护协议，按合同理应提供维修服务。荷兰政府近年来在美国压力下，对华光刻机出口政策日趋谨慎，因此，即便合同存在，ASML也可能以“设备遭人为破坏、超出保修范围”为由拒绝修复，或仅提供有限支持。荷兰之前有过扣押中国上市公司闻泰科技的安世半导体事件！
光刻机不是简单的机械工程：它是光学、材料、算法、控制、真空、精密制造、软件一体化的“地球最复杂机器”！要想造出一台完整可用的光刻机，不仅要技术突破，还要整个产业链协同，一个螺丝的公差、一个镜片的反射率，背后都是无数试错和经验。
这台光刻机如果得不到及时维修，可能影响未来芯片价格，芯片半导体可能迎来一波新的涨幅